|
WAFER LINE是SOI、貼合晶圓等的晶圓檢查專用機
根據(jù)您的要求，機器人自動搬運、自動測定、自動判定，可全自動工作。
已經(jīng)積累了在多個客戶的量產(chǎn)線上連續(xù)運轉(zhuǎn)的實際業(yè)績，獲得了高度的評價。
|
4～8英寸用WAFER LINE
（支持晶圓盒）
|
特點、規(guī)格:
根據(jù)您的要求，還可制作以下規(guī)格的裝置。
· 半導(dǎo)體前工序的生產(chǎn)線設(shè)置用
裝置內(nèi)處理室清潔度3級(ISO)以上（在潔凈室內(nèi)組裝裝置）
SUS箱體、支持FOUP
· 高速檢查
與具有相同分辨率的單焦點探頭設(shè)備相比，電子掃描式陣列探頭設(shè)備可以做到高速顯示。
（機械部分的運動少，也有助于保持清潔度）